干式真空泵極限真空（Pa，絕對壓強(qiáng)，荏原全系半導(dǎo)體機(jī)型實測標(biāo)準(zhǔn)）

一、按泵結(jié)構(gòu)分類極限真空（單機(jī)從大氣壓直抽）

1. 多級爪式干泵（荏原 EV?SA/EV?A/EV?S，半導(dǎo)體 Load-Lock、小型腔體）

• 標(biāo)準(zhǔn)風(fēng)冷小型：0.3～1.0 Pa（EV?SA20/30/50、EV?A10）

• 精密多級 EV?S 系列：0.4～0.8 Pa（EV?S20/S40）

實驗室、電鍍機(jī)、SEM 設(shè)備標(biāo)配。

2. 羅茨干式（EV?M 系列，刻蝕、CVD 主力）

3. 變螺距螺桿干泵（EST、ESA 防腐系列，MOCVD / 強(qiáng)腐蝕制程）

4. 通用工業(yè)國產(chǎn)干泵（非半導(dǎo)體）

二、半導(dǎo)體系統(tǒng)搭配真空（干泵 + 分子泵機(jī)組）

1. 干泵單獨(dú)使用：工藝腔體穩(wěn)定工作壓力 （刻蝕、PECVD 粗真空）；

2. 干泵做前級 + 分子泵：腔體可達(dá) （PVD 濺射、ALD、離子注入高真空），干泵只負(fù)責(zé)預(yù)抽、分子泵實現(xiàn)超高真空。