干式真空泵極限真空(Pa,絕對壓強(qiáng),荏原全系半導(dǎo)體機(jī)型實測標(biāo)準(zhǔn))
一、按泵結(jié)構(gòu)分類極限真空(單機(jī)從大氣壓直抽)
1. 多級爪式干泵(荏原 EV?SA/EV?A/EV?S,半導(dǎo)體 Load-Lock、小型腔體)
實驗室、電鍍機(jī)、SEM 設(shè)備標(biāo)配。
2. 羅茨干式(EV?M 系列,刻蝕、CVD 主力)
EV?M102/202/302:1~5 Pa,大抽速、水冷,側(cè)重工藝動態(tài)抽氣,不追求超高極限真空。
3. 變螺距螺桿干泵(EST、ESA 防腐系列,MOCVD / 強(qiáng)腐蝕制程)
EST 全系列(200/300/500WN 防腐款):
0.3~0.5 Pa,荏原最高真空量產(chǎn)干泵;
ESA 大流量螺桿:
0.5~3 Pa,大腔體量產(chǎn)線使用。
4. 通用工業(yè)國產(chǎn)干泵(非半導(dǎo)體)
普通單級螺桿:3~15 Pa;簡易單級爪泵:10~50 Pa。
二、半導(dǎo)體系統(tǒng)搭配真空(干泵 + 分子泵機(jī)組)
干泵單獨(dú)使用:工藝腔體穩(wěn)定工作壓力 (刻蝕、PECVD 粗真空);
干泵做前級 + 分子泵:腔體可達(dá) (PVD 濺射、ALD、離子注入高真空),干泵只負(fù)責(zé)預(yù)抽、分子泵實現(xiàn)超高真空。