
產(chǎn)品分類
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更新時(shí)間:2026-06-05
瀏覽次數(shù):80半導(dǎo)體潔凈輕制程
Load-Lock 晶圓傳送腔、PVD 濺射腔體預(yù)抽、離子注入機(jī)前級(jí)、晶圓電鍍?cè)O(shè)備、半導(dǎo)體檢測(cè)機(jī)臺(tái);
實(shí)驗(yàn)室 & 精密儀器
SEM 掃描電鏡、質(zhì)譜儀 (GC-MS/LC-MS)、小型鍍膜機(jī)、高校真空實(shí)驗(yàn)、冷凍干燥;
小產(chǎn)能泛半導(dǎo)體
MiniLED 封裝、小型研發(fā) PECVD、光學(xué)鍍膜。
選型口訣:潔凈小腔體、少腐蝕、空間小→選爪式風(fēng)冷 EV-SA
半導(dǎo)體重載量產(chǎn)制程
HDP 高密度刻蝕、PECVD/LPCVD、ALD 原子層沉積、RTP 快速退火、擴(kuò)散爐、大腔體 CVD 粗抽;適配大量工藝尾氣 (SF?、O?、鹵化物);
面板 / 光伏大產(chǎn)線
LCD/OLED 面板鍍膜、HJT 管式 PECVD、硅片燒結(jié)爐整線抽氣;
化工量產(chǎn)
真空蒸餾、大型真空熱處理爐、大容量負(fù)壓反應(yīng)釜。
選型口訣:大腔體、大排氣量、快速破真空→EV-M 羅茨干泵
強(qiáng)腐蝕半導(dǎo)體工藝
MOCVD 外延、SiC/GaN 第三代半導(dǎo)體刻蝕、含 HF/HBr/Cl?鹵化氣體制程、干法去膠灰化(大量腐蝕副產(chǎn)物);
精細(xì)化工 / 醫(yī)藥
原料藥真空濃縮、溶劑回收、易燃易爆有機(jī)氣體抽??;
鋰電 / 新材料
負(fù)極材料燒結(jié)、電解液負(fù)壓脫水。
選型口訣:強(qiáng)酸腐蝕、高水汽、粘稠粉塵多→EST 螺桿防腐款
| 工藝 | 優(yōu)選泵型 | 荏原對(duì)應(yīng)型號(hào) | 工況特點(diǎn) |
|---|---|---|---|
| Load-Lock、PVD 前級(jí) | 爪式風(fēng)冷 | EV-SA20/30 | 潔凈、間歇啟停、小抽速 |
| 量產(chǎn)刻蝕、常規(guī) CVD | 羅茨干式 | EV-M202/302 | 大流量、多工藝氣體 |
| MOCVD、強(qiáng)腐蝕刻蝕 | 防腐螺桿 | EST-WN | 鹵氣、高腐蝕、高溫 |
| 實(shí)驗(yàn)室、電鏡設(shè)備 | 微型爪泵 | EV-A10 | 安裝緊湊、無(wú)需水冷 |
超高真空機(jī)組:干泵(前級(jí)預(yù)抽)+ 分子泵,PVD / 離子注入可達(dá);
惡劣粉塵工況:螺桿 / 羅茨 + 前置除塵 + 氮?dú)夥创?;潔凈輕載優(yōu)先爪式風(fēng)冷。
