干式真空泵工作原理（爪式 / 羅茨 / 螺桿三類，荏原全系列通用原理）

核心總述

1、通用基礎(chǔ)過程（所有干泵通用四步）

1. 吸氣：轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，泵腔腔體容積由小變大，腔體形成負(fù)壓，工藝氣體被吸入泵腔；

2. 封閉：轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動，進(jìn)氣口被隔斷，氣體密閉在密封腔體內(nèi)；

3. 壓縮：腔體容積逐步縮小，密閉氣體被壓縮、氣壓升高；

4. 排氣：腔體連通排氣口，高壓氣體沖破排氣壓差，從排氣端排出。

靠微米級配合間隙封氣，不用油液填充縫隙，因此叫干式。

2、三種主流結(jié)構(gòu)細(xì)分原理（對應(yīng)荏原型號）

①爪式干泵｜EV?A、EV?SA、EV?X（多級串聯(lián)）

• 每級腔體一對爪形轉(zhuǎn)子，左右轉(zhuǎn)子凹凸爪相互咬合；

• 多段腔體串聯(lián)逐級壓縮，單級壓縮比小、多級疊加獲得高真空；

• 特點(diǎn)：風(fēng)冷居多、極限真空高（0.1～1Pa），用于實(shí)驗(yàn)室、Load?Lock、電鍍配套。

②羅茨干式｜EV?M 系列

• 兩片 8 字形羅茨轉(zhuǎn)子同步反向旋轉(zhuǎn)，無接觸咬合；

• 單次容積大、抽氣流量大，單級抽速高，一般水冷；

• 多用于半導(dǎo)體刻蝕、CVD 大腔體粗抽。

③螺桿干泵｜EST 系列

• 一對陰陽螺旋螺桿轉(zhuǎn)子嚙合旋轉(zhuǎn)，氣體沿著螺桿軸向被連續(xù)壓縮推送；

• 壓縮平緩、耐高溫、抗粉塵，可全特氟龍防腐，適配 MOCVD、重腐蝕制程。

3、輔助配套原理（半導(dǎo)體機(jī)型標(biāo)配）

1. 氮?dú)獯祾?/span>：轉(zhuǎn)子間隙通入微量氮?dú)?，阻擋腐蝕性粉塵進(jìn)入間隙附著，防卡死、防腐蝕；

2. 溫控冷卻：風(fēng)冷 / 水冷帶走壓縮發(fā)熱，防止高溫裂解工藝氣體；

3. 變頻調(diào)速：腔體保壓階段降轉(zhuǎn)速，空載節(jié)能。