干式真空泵優(yōu)缺點(diǎn)(結(jié)合 EBARA 荏原半導(dǎo)體應(yīng)用場(chǎng)景對(duì)比)
一、優(yōu)點(diǎn)
1. 真空潔凈度高(半導(dǎo)體最核心優(yōu)勢(shì))
泵腔無(wú)潤(rùn)滑油密封,沒(méi)有油蒸汽返流進(jìn)入工藝腔體,不會(huì)污染晶圓、鍍膜材料,適配刻蝕、PVD、OLED 蒸鍍、晶圓電鍍等高潔凈工藝;油封泵普遍存在返油報(bào)廢產(chǎn)品問(wèn)題。
2. 耐腐蝕性強(qiáng)、適配特種工藝氣體
內(nèi)腔可做鎳基防腐、PTFE 特氟龍涂層,能抽吸 HF、HBr、氯氣、鹵化物等強(qiáng)腐蝕尾氣(荏原 WN/SF 防腐機(jī)型主打),腐蝕氣體不會(huì)像油式泵一樣快速乳化潤(rùn)滑油。
3. 可抽吸易燃易爆氣體
結(jié)構(gòu)無(wú)油、密閉腔體,搭配氮?dú)獯祾?、防爆配置,安全抽取硅烷、氨氣、有機(jī)揮發(fā)氣體,適配 HJT 光伏、MOCVD、精細(xì)化工。
4. 運(yùn)行損耗低、維保周期長(zhǎng)
5. 廢液廢氣易處理
抽出的腐蝕氣體冷凝后無(wú)廢油混合,尾氣后端水洗、吸附處理簡(jiǎn)單,環(huán)保成本更低。
6. 環(huán)境適應(yīng)性好
小型爪式(EV-SA/EV-A)風(fēng)冷機(jī)型無(wú)需冷卻水,實(shí)驗(yàn)室、小型設(shè)備就地安裝便捷。
二、缺點(diǎn)
1. 采購(gòu)成本高
同抽速規(guī)格,干泵采購(gòu)價(jià)是油封旋片泵 3~6 倍,初期設(shè)備投入大,是產(chǎn)線建廠主要成本之一。
2. 極限真空不及gao端油封泵
常規(guī)干式泵極限真空:0.05~5Pa,普通油封泵可達(dá)10?2Pa以下,超高真kong前端需要搭配分子泵組成機(jī)組。
3. 噪音與振動(dòng)偏大
羅茨、螺桿型重載干泵(EV-M、EST)高速運(yùn)轉(zhuǎn)噪聲、振動(dòng)高于小型油式泵,gao端精密鍍膜需加裝減震底座。
4. 對(duì)粉塵顆粒敏感
細(xì)小硅粉、氧化鋁粉塵長(zhǎng)期堆積轉(zhuǎn)子間隙,會(huì)造成效率下降、卡死;高粉塵工況必須配套前置除塵、氮?dú)夥创迪到y(tǒng),增加輔材投入。
5. 維修技術(shù)門(mén)檻高
轉(zhuǎn)子間隙微米級(jí)精密裝配,損壞后原廠配件貴、維修周期長(zhǎng),國(guó)產(chǎn)替代配件配套不wan善。
三、選型簡(jiǎn)易總結(jié)