離子研磨儀 常用工作參數(shù)

1. 離子束電壓

   常用0.3~10kV，電壓越高研磨速度越快，易產(chǎn)生熱損傷
2. 離子束電流

   控制束流大小，決定研磨效率，數(shù)值越大打磨越快
3. 研磨角度

   一般0°~90° 可調(diào)，常用 10°~30° 斜角研磨，截面更平整
4. 樣品轉(zhuǎn)速

   0~60r/min，旋轉(zhuǎn)讓樣品受轟擊均勻，避免偏磨
5. 腔體真空度

   工作真空1×10?3 ~ 5×10?? Pa，真空不足離子束不穩(wěn)定
6. 工作氣體

   標(biāo)配高純氬氣，氣壓 0.1~0.5Pa
7. 研磨時間

   按需設(shè)定，幾秒到幾小時，薄樣短時間、厚截面長時間
8. 樣品冷卻溫度

   水冷 / 液氮降溫，防止塑料、軟材料高溫變形碳化
9. 最大加工尺寸

   常規(guī)：50×50mm 以內(nèi)樣品
10. 研磨速率

    一般50~800μm/h，隨電壓、材質(zhì)變化
11. 離子槍數(shù)量

    單槍、雙槍、三槍，槍越多平面拋光效果越好