紫外線臭氧清洗通過照射能量比作為污染物的有機化合物的結(jié)合能更強的紫外線來分解有機化合物。

同時，通過紫外線照射到大氣（含氧的環(huán)境氣體）中，產(chǎn)生臭氧（O3）和激發(fā)的活性氧（O）。

活性氧具有強的氧化能力，立即與未結(jié)合的有機化合物發(fā)生氧化反應(yīng)，產(chǎn)生簡單的分子如CO2、H2O、O2等，從表面揮發(fā)并去除（清潔）掉。

與使用清洗液的濕法清洗不同，UV臭氧清洗可以減少對環(huán)境的影響，并且不會像使用放電的等離子清洗那樣對工件造成熱或靜電損壞，具有以下特點。

UV臭氧清洗一般采用低壓汞燈，但也有使用氙準(zhǔn)分子燈的方法。低壓汞燈同時發(fā)射兩種波長：185nm 和 254nm。

大氣中的氧氣吸收185nm紫外線生成臭氧，生成的臭氧進(jìn)一步吸收254nm紫外線生成活性氧。

活性氧與有機化合物結(jié)合成為CO2、H2O、O2等揮發(fā)性物質(zhì)而被除去。

另一方面，氙準(zhǔn)分子燈發(fā)射的單一波長為 172nm。

它具有比低壓汞燈發(fā)射的185nm更高的能量，通過直接產(chǎn)生臭氧和活性氧，可以保持高濃度并提高清潔力。

準(zhǔn)分子燈使用昂貴的高純度合成石英玻璃。

通過施加高頻電壓來點亮燈，燈會變熱，因此需要冷卻功能。

另外，由于172nm被氧氣高度吸收，因此需要用惰性氣體吹掃燈箱并將其吹到工件上。

準(zhǔn)分子燈光源設(shè)備比低壓汞燈光源設(shè)備具有更好的清洗能力，但設(shè)備結(jié)構(gòu)較復(fù)雜，價格昂貴。